英文
400-888-0829
标准型超声波扫描显微镜
应用范围
IGBT、SiC模组分层检测
半导体芯片封装分层
6、8、12寸晶圆（包括晶圆键合）检测
金刚石测厚及内部缺陷检测
水冷散热板焊接缺陷检测
设备优势
无需破坏样品，可高效重复检测
扫描速度快，检测精度高
多达1000层的分层扫描
实时检测图像显示与分析软件
可根据产品定制防水治具
可选配单探头、双探头
支持C+T方式同时扫描
主要参数
整机尺寸
995mm×970mm×1500mm
三轴有效行程
400mm x 320mm x 100mm
最大扫描速度
1200mm/s
图像推荐分辨率
1~4000μm/pixel
超声发射接收带宽
5-300MHz（可选配5-500MHz）
上下水系统
水压进水，重力排水，可选配水泵排水
密封夹具
可根据客户产品规格定制
沪公网安备 31011202013830号